Для цитирования:

Гузилова Л.И., Гращенко А.С., Николаев В.И. Исследование сопротивления механической деформации эпитаксиальных слоев α-Ga2O3 методом наноиндентирования. Frontier Materials & Technologies. 2021;(4):7-16. https://doi.org/10.18323/2782-4039-2021-4-7-16

For citation:

Guzilova L.I., Grashchenko A.S., Nikolaev V.I. The study of mechanical deformation resistance of α-Ga2O3 epitaxial layers using the nanoindentation technique. Frontier Materials & Technologies. 2021;(4):7-16. (In Russ.) https://doi.org/10.18323/2782-4039-2021-4-7-16